政府公共調達データベース

国立大学法人 - 資料提供招請に関する公表ｉ線ステッパ一式

本調達はWTOの政府調達に関する協定、日EU経済連携協定又は日英包括的経済連携協定の適用を受ける調達です。

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公示日/公告日 2020年04月01日
公示の種類 資料提供招請に関する公表
調達機関 国立大学法人（宮城県）
分類
0026 その他物品
本文 資料提供招請に関する公表
　次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。
　令和２年４月１日
　国立大学法人東北大学理事　植木　俊哉　
◎調達機関番号　415　◎所在地番号　04
○第１号
１　調達内容
　⑴　品目分類番号　26
　⑵　導入計画物品及び数量　ｉ線ステッパ　一式
　⑶　調達方法　購入等
　⑷　導入予定時期　令和２年度３月以降
　⑸　調達に必要とされる基本的な要求要件
　Ａ　レチクル上のパターンを縮小投影露光法によりウェハ上に微細パターンとして露光できること。
　Ｂ　ウェハ搬送系を有すること。
　Ｃ　ウェハをプリアライメントする機構を有すること。
　Ｄ　ウェハ上の既存パターンとの位置合わせが精密にできること。
　Ｅ　ウェハに対してオートフォーカスできること。
　Ｆ　20mm角～直径８インチを含む様々な大きさのウェハに対して露光できること。ただし直径４インチより小さいウェハはこちらで支給するトレイを用いて露光してもよい。
　Ｇ　反りの大きなウェハに対して露光できること。
　Ｈ　透明なウェハに対して露光できること。
　Ｉ　裏面アライメント機構を有すること。
　Ｊ　高スループットでウェハに露光できること。
　Ｋ　レチクル搬送系を有すること。
　Ｌ　複数枚のレチクルを収納することができ、それらの中から露光に必要なレチクルを自動でセットできること。
２　資料及びコメントの提供方法　上記１⑵の物品に関する一般的な参考資料及び同⑸の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリーに関する資料等の提供を招請する。
　⑴　資料等の提供期限　令和２年５月７日17時00分（郵送の場合は必着のこと。）
　⑵　提供先　〒980―8577 仙台市青葉区片平２―１―１　東北大学財務部調達課調達第一係長　秋山　茂絋　電話022―217―4869
３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付する。
　⑴　交付期間　令和２年４月１日から令和２年５月７日まで。
　⑵　交付場所　上記２⑵に同じ。
４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。
　⑴　開催日時　令和２年４月10日10時00分
　⑵　開催場所　東北大学西澤潤一記念研究センター２階会議室
５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予定であり、変更することがあり得る。