政府公共調達データベース

国立大学法人 - 資料提供招請に関する公表ナノ集積電子ビーム描画装置一式

本調達はWTOの政府調達に関する協定、日EU経済連携協定又は日英包括的経済連携協定の適用を受ける調達です。

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公示日/公告日 2016年11月01日
公示の種類 資料提供招請に関する公表
調達機関 国立大学法人（宮城県）
分類
0024 科学用又は制御用の機器
本文 資料提供招請に関する公表
　次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
　平成　２８　年　１１　月１日
　　　国立大学法人東北大学理事　佃　　良彦
◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０４
○第４号
１　調達内容
　（１）　品目分類番号　２４
　（２）　導入計画物品及び数量
　　　ナノ集積電子ビーム描画装置　一式
　（３）　調達方法　購入等
　（４）　導入予定時期　平成２９年度５月以降
　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件
　　　１．ナノ集積電子ビーム描画装置は、以下の機能を備えていること。
　　　１　）電子ビームの加速電圧は１００ｋＶ以上であること。
　　　２　）電子ビームは５ｎｍ以下のスポットビーム径に集束できること。
　　　３　）電子ビームの走査方式はベクタースキャン方式であること。
　　　４　）電子ビームの走査速度は１００ＭＨｚ以上であること。
　　　５　）３００ｍｍウェハの搬送から電子ビーム描画までの一連の動作が
自動で行えること。
　２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参
考資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラ
リーに関する資料等の提供を招請する。
　　（１）　資料等の提供期限　平成２８年１２月２日１７時００分（郵送の
場合は必着のこと。）
　　（２）　提供先　〒９８０―８５７７　仙台市青葉区片平２―１―１　東
北大学財務部調達課調達第一係長　菊地　宏隆　電話０２２―２１７―４８６
９３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交
付する。
　　（１）　交付期間　平成２８年１１月１日から平成２８年１２月２日まで
。　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。
　４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。
　　（１）　開催日時　平成２８年１１月８日１０時００分
　　（２）　開催場所　東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター
３階第１会議室
　５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は
予定であり、変更することがあり得る。